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珂玛科技:公司陶瓷加热器已有多款类型安装于SACVD、PECVD、LP和激光退火设备等安装于刻蚀机的8寸类型静电卡盘也现已量产

时间: 2025-02-26 12:11:32 |   作者: 风道式气体电加热器

  同花顺300033)金融研究中心09月13日讯,有投资者向珂玛科技301611)发问, 贵公司不断打破中高端产品技能瓶颈,推进国产代替进程。请问能否介绍一下贵公司在处理陶瓷加热器、静电卡盘和超高纯碳化硅套件等产业链“卡脖子”产品研制和量产以及订单状况?祝福公司在国产代替的路途上高奏凯歌、一路长虹!

  公司答复表明,敬重的投资者您好!公司陶瓷加热器已有多款类型安装于SACVD、PECVD、LPCVD和激光退火设备等,安装于刻蚀机的8寸类型静电卡盘也现已量产。公司将加强完善陶瓷加热器、8寸静电卡盘产品,并要点研制打破12寸静电卡盘、超高纯碳化硅套件,加快推进市场化使用。感谢您的重视!